創(chuàng)視新(MVC)系列自動檢測系統(tǒng)就是為了可以檢測所有產(chǎn)線上生產(chǎn)的硅晶圓以及電池片的瑕疵所設(shè)計的。不僅可以檢測5"以及6"的尺寸,而且可以檢測單晶,多晶甚至是準(zhǔn)單晶的成品。根據(jù)不同的生產(chǎn)制程,有多種檢測模塊進(jìn)行不同用途的在線檢測。
- 硅片自動分選機(jī)
在眾多可以幫助光伏產(chǎn)業(yè)邁向"市電同價"的重要因素之中,光伏組件的可靠度是一 個非常重要的關(guān)鍵因素。有些光伏組件安裝初期的失效原因常常來自于在光伏電池 片階段的外觀不良,例如邊緣缺角,表層剝落,或者是鋁凸等。而這些瑕疵也就變 成光伏電池片制造商在品質(zhì)把關(guān)時候的一個非常重要的課題。因此,對于光伏模組 的品質(zhì)以及可靠度來講,硅晶圓以及電池片的瑕疵檢驗就顯得相當(dāng)重要。
【產(chǎn)品描述】
該系統(tǒng)可對太陽能硅片的電性能、幾何尺寸、外觀缺陷進(jìn)行全自動分揀,硅片生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)用此系統(tǒng),替代以往人工檢測方式,大大提高了檢測效率,充分滿足了硅片使用廠家的質(zhì)量要求,同時降低了該企業(yè)和下游企業(yè)的整體質(zhì)控成本,提高了客戶在行業(yè)的競爭力。
【基本原理】
系統(tǒng)整體采用非接觸測量方式,通過在流水線中設(shè)置五個工位,分別實現(xiàn)硅片各個參數(shù)的檢測。其中,電阻率、厚度、TTV、P/N型號、Bow/Warp采用電渦流法和電容法實現(xiàn)非接觸自動檢測;輪廓尺寸采用機(jī)器視覺技術(shù)實現(xiàn);隱裂、孔洞缺陷通過紅外視覺技術(shù)實現(xiàn);表面臟污缺陷通過機(jī)器視覺技術(shù)并輔以特殊設(shè)計光源實現(xiàn);線痕缺陷通過光針掃描技術(shù)實現(xiàn)。
【規(guī)格指標(biāo)】
(1)能夠適應(yīng)三種規(guī)格單晶硅片檢測需求,包括6吋(邊長125mm×125mm,對角線150mm)、6.5吋(邊長125mm×125mm,對角線165mm)、8吋(邊長156mm×156mm,對角線200mm);
(2)能夠檢測硅片各種缺陷,包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP;
(3)檢測效率:3000片/小時;
(4)進(jìn)料機(jī)構(gòu)采用物料籃(花籃)自動進(jìn)料,物料籃必須與設(shè)備配套使用,人工將物料籃安裝到設(shè)備進(jìn)料口,安裝過程應(yīng)簡單快捷;
(5)合格標(biāo)準(zhǔn)可設(shè)定,以適應(yīng)區(qū)分不同的質(zhì)量級別;
(6)具備硅片分選功能。一個分選模塊有6個分選工位,各工位的分選標(biāo)準(zhǔn)可以自定義,既可以將每個分選工位設(shè)置成一種缺陷的幾個等級(等級劃分由客戶自定義,但不可超過6級),也可以將每個分選工位設(shè)置成幾種不同的缺陷(設(shè)置6種缺陷)??蛻艨稍O(shè)置缺陷種類的優(yōu)先級,若硅片上具有兩種或多種缺陷時按照客戶定義的優(yōu)先級進(jìn)行分選;如果認(rèn)為6個分選工位不能滿足使用要求,則可以購買多臺分選模塊;
(7)上、下料及檢測過程中防止硅片碰傷與損壞,碎片率要求<0.1%;可以進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲、統(tǒng)計、分析、查詢及圖表繪制等。配備網(wǎng)絡(luò)接口,可以進(jìn)行測量設(shè)備現(xiàn)場聯(lián)網(wǎng)統(tǒng)一控制管理。測量結(jié)果能夠打印輸出;
(8)設(shè)備具備安全防護(hù)功能,實現(xiàn)自動保護(hù)。配備急停裝置,發(fā)生緊急情況時可立即停止設(shè)備,防止意外傷害;
(9)采用模塊化設(shè)計,便于維護(hù)和維修。
【解決方案價值對照表】
【應(yīng)用擴(kuò)展】
太陽能硅片檢測系統(tǒng)解決方案經(jīng)適量修改,也可適用于太陽能電池板、多晶硅、單晶硅檢測等。